微区分析

台阶仪
联系人🧑🎤:刘园园
联系邮箱:liuyy@fudan.edu.cn
放置地点:江湾校区先进材料楼229室
设备型号:Alphastep D-300
设备厂家:科磊(KLA)
主要规格及技术指标:垂直分辨率:0.38 Å👊🏽,最大垂直测量范围:1000 μm,最小正压力:0.5 mg🧑🏻🌾,最大采样点数🪅:4×105🫨。
主要功能及特色👫🏼👰🏽:二维台阶高度🧂、粗糙度、翘曲度和应力测量🤷🏼♀️。大小量程双探测器设计,在大量程(1 mm)时不丢失仪器的最高分辨率0.38 Å和最高精度5 Å。